1、在HVAC系統中
可根據潔凈室的體積，選用適當的臭氧發生器，將外置式臭氧發生器通過接管接入HVAC系統的送、回風主管道的合適位置，其PLC控制系統可預置消毒時間等工藝參數。消毒時，關閉約90%新風進口閥門和回風對外排放閥門，使整個被消毒的潔凈室空氣通過凈化系統風道形成循環狀態。每日開機1H進行空氣滅菌，可替代化學藥劑熏蒸及設備表面滅菌需開機2-2.5H。也可在潔凈區內任何一個具有送回風口潔凈室內單機使用，作局部滅局。
2、傳遞窗作用
物料在不同級別的潔凈室之間或非潔凈室之間傳遞，可用專門設計的帶臭氧發生器傳遞窗。
3、對物料、工裝模具、工作服等的滅菌
可根據滅菌對象選用臭氧常溫滅菌或臭氧滅菌烘干箱，如用于粉針生產線中鋁塑復合蓋滅菌的臭氧常溫滅菌箱，解決以往水洗或酒精浸泡后，再經烘箱烘干的多道工序。
4、密閉容器管道滅菌
對輸液、輸料管道、過濾系統、物料儲灌、反應罐等密閉容器消毒滅菌，可選用專用臭氧發生器將自備無油氣泵制取百級凈化壓力空氣輸入臭氧發生室內，生產處300ug/L以上濃度的抽氧化氣體，導入需滅菌的設備或系統中.
5、用于工藝用水處理
對工藝用水可應用臭氧發生器做終端滅菌
6、對粉體原料與部分中藥原料的滅菌
在密閉容器中通入臭氧，并利用容器中物料的翻動或攪拌作用對粉體原料與部分中藥原料進行滅菌，解決了多年對粉體類或部分中藥原料難以滅菌的問題。
7、以上用臭氧滅菌都應配備臭氧檢測儀，實時監測臭氧的濃度，以達到最佳的消毒效果，并檢測消毒后臭氧的殘留濃度，保障人員安全。
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